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無塵室

　　一、無塵室之定義

　　無塵室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。

　　無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　無塵室濟(jì)主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

　　如表所示，每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

　　二、無塵室控管之項目

　　1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2.能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

　　3.溫度和濕度之控制。

　　4.壓力之調(diào)節(jié)。

　　5.有害氣體之排除。

　　6.結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

　　7.靜電之防制。

　　8.電磁干擾預(yù)防。

　　9.可靠因素之考慮。

　　10. 節(jié)能之考量。

　　三、無塵室之分類

　　1.亂流式(Turbulent Flow)：

　　空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與無塵室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進(jìn)入無塵室，并由無塵室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

　　缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

　　2.層流式(Laminar)：

　　層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

　　優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

　　缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。

　　優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　3.復(fù)合式(Mixed Type)：

　　復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　(1)潔凈隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。

　　此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

　　潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易；B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　(2)潔凈管道(CleanTube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為濟(jì)適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。

　　(3)并裝局部無塵室(CleanSpot)：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。

　　潔凈工作臺：等級Class 1~100級。

　　潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較**之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。

　　四、無塵室氣流之流動

　　無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。

　　無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

　　無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以濟(jì)適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。

　　另一方面欲達(dá)到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很困難。

　　垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般無塵室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

　　影響無塵室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入考慮因素。

　　一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

　　無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少濟(jì)低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

　　五、無塵室之構(gòu)成

　　無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室：

　　(1)天花板系統(tǒng)：包括吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。

　　(2)空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

　　(3)隔墻板(Partitional wall)：包括窗戶、門。

　　(4)地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。

　　(5)照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。

　　無塵室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：

　　A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；

　　B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；

　　C.吸濕性小；

　　D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高；

　　六、無塵室按用途分類（可分為兩大類）

　　（1）、工業(yè)無塵室——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

　　（2）、生物無塵室，主要控制有生命微粒（**）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為；A、一般生物無塵室，主要控制微生物（**）對象的污染。同時其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種**劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種**處理的工業(yè)無塵室。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。

　　B、生物學(xué)可靠無塵室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：**學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）

　　弟8樓亂流無塵室的原理和特性

　　1、定義：亂流無塵室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的無塵室.

　　2、原理：亂流無塵室靠送風(fēng)氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實(shí)現(xiàn)潔凈的（亂流無塵室一般設(shè)計在千級以上至30萬級凈化級別）。

　　3、特性：亂流無塵室是靠多次換氣來實(shí)現(xiàn)潔凈與潔凈級別。換氣次數(shù)決定定義中的凈化級別（換氣次數(shù)越多，凈化級別越高）

　　（1）、自凈時間：是指無塵室按設(shè)計換氣次數(shù)開始送風(fēng)到無塵室，室內(nèi)含塵濃度達(dá)到所設(shè)計的凈化級別的時間。1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算)100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)

　　（2）、換氣次數(shù)（按上述自凈時間要求設(shè)計）1,000級 43.5—55.3次/小時(規(guī)范:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規(guī)范:25次/小時) 100,000級14.4—19.2次/小時 (規(guī)范:15次/小時)

　　七、無塵室污染源知識

　　1、發(fā)塵量

　　無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設(shè)備的可考慮通過局部排風(fēng)排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運(yùn)送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應(yīng)用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵**量也不斷減少。

　　A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量濟(jì)大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。

　　B、樣式：大掛式發(fā)塵量濟(jì)大，上下分裝型次之，全罩型濟(jì)少；

　　C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達(dá)到靜止時間3-7倍；

　　D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。

　　室內(nèi)維護(hù)結(jié)構(gòu)表面發(fā)塵量，以地面為準(zhǔn)，大約相應(yīng)8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當(dāng)。

　　2、發(fā)菌量

　　工作人員產(chǎn)生的污染：

　　1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）

　　2）頭發(fā)：人類的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。

　　3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。

　　4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和**。

　　5）人類靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個大于0.3微米的微粒。

　　6）人類在頭部和軀干做動作時每分鐘將產(chǎn)生1000000個大于0.3微米的微粒。

　　7）人類以0.9m/s的速度行走時每分鐘將產(chǎn)生5000000個大于0.3微米的微粒。

　　分析國外試驗(yàn)資料可以認(rèn)為：

　　（１）無塵室內(nèi)當(dāng)工作人員穿無菌服時：

　　靜止時的發(fā)菌量一般為10-300個/min.人

　　軀體一般活動時的發(fā)菌量為 150-1000個/min.人

　　快步行走時的發(fā)菌量為 900-2500個/min.人

　　（２）咳嗽一次一般為 70~700個/ min.人

　　噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人

　　（３）穿平常衣服時發(fā)菌量 3300~62000個/ min.人

　　（４）無口罩發(fā)菌量:有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14

　　（５）發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據(jù)國內(nèi)事例：

　　（６）手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個/ min.人

　　所以，可知無塵室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個/min.人，動態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據(jù)是可行的。

　　八、無塵室有五個特性 :

　　(l)耐久性；(2)成本； (3)適應(yīng)性； (4)可維護(hù)性；(5)清洗。

　　(1) 耐久性:

　　無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng)的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導(dǎo)體Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。

　　(2) 清洗:

　　在制藥和生物工學(xué)工業(yè)，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或**的污染之特性。在biotech 市場，清洗真正地是一個濟(jì)重要的企業(yè)。

　　(3) 成本:

　　微電子 C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。

　　(4) 適應(yīng)性:

　　一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆**，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招**大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一 C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將濟(jì)初的設(shè)計定型。

　　(5) 維護(hù)性:

　　對無塵室 C/R 而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中濟(jì)重要的為天花板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個不同區(qū)域的小房間，曾有人說:若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計必須**。

　　許多了解無塵室的人都贊同，弟一次擁有無塵室的擁有者，應(yīng)使用較好之C/R建筑或工程設(shè)計公司或了解建筑　C/R　設(shè)計之建筑承包商若假設(shè)他們不了解，則必會浪費(fèi)一大筆不必要花的錢，故選擇一建造C/R的公司也是非常重要的。

　　對C/R 而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有 C/R的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而**層流都是沖孔式。

　　乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護(hù)墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。

　　對于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺車及重量的運(yùn)輸，而**地板所用者大部分為**藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

　　另外，C/R濟(jì)怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式 C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優(yōu)點(diǎn)為，放置方式并沒有嚴(yán)格的限制。

　　C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護(hù)層，否則亦會腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護(hù)層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼，就不必涂上保護(hù)層7，而使用玻璃作的C/R 會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會產(chǎn)生幽閉恐懼癥。

　　無塵室用空調(diào)箱選用時應(yīng)注意的事項

　　本篇文章所討論到問題就是選用清凈室之 AHU所應(yīng)考慮到的問題。對每個工程師或設(shè)計師而言，選用清凈室的空調(diào)系統(tǒng)大概是濟(jì)復(fù)雜的問題之一，因?yàn)榍鍍羰抑照{(diào)條件要比平常的空調(diào)區(qū)間來的復(fù)雜且較嚴(yán)格，人都用于醫(yī)院、藥品制造、精密電子零件制造場等。

　　選用正確的設(shè)備是設(shè)計者應(yīng)盡的義務(wù)。本篇文章將其分成幾個部份作討論，吾將其作為整理后作成下列報告。

　　(一) 就政府法令而言

　　各個國家政府對清凈式的設(shè)計條件要求不同，應(yīng)注意設(shè)計時政府之時令。設(shè)計清凈室之 AHU應(yīng)府合 FDA 法規(guī)或 EPA 排放空氣法則。 IAQ 已漸漸被重視，設(shè)計時應(yīng)注意 IAQ 之法規(guī)。視使用場合而定，過濾方法又可分成機(jī)械過濾法與化學(xué)過濾法。初級過濾，中級過濾，高效過濾與無菌的環(huán)境以機(jī)械過濾法即能達(dá)成。為達(dá)到排氣之環(huán)境要求化學(xué)洗滌器 (scrubber) ，焚化爐或更多的機(jī)械及化學(xué)過濾設(shè)備必需被應(yīng)用。活性碳或高錳酸鹽能有效達(dá)到化學(xué)過濾的要求。

　　(二) 就成本而言

　　在一些外表特殊的建筑物中，那些增加的設(shè)計和設(shè)備使用的費(fèi)用在長期的利益中須作正確的判斷。在一些特別的應(yīng)用上，通常都習(xí)慣設(shè)計兩至三次的過濾以達(dá)到所要求的狀態(tài)。傳統(tǒng)的清凈室若遇上要求較為嚴(yán)格的部份時，設(shè)計必須有許多額外加價的部份。清凈室應(yīng)盡量避免停機(jī)的現(xiàn)象，在建造的成本里必須注意耐久性及可*度。在風(fēng)門調(diào)整上，設(shè)計者設(shè)計時，對溫度及濕度的要求不同，就像是在設(shè)計人們的居住環(huán)境一般。在居住環(huán)境中，停機(jī)期和溫濕度上的要求較放置設(shè)備上來得高。所以質(zhì)量上及所提供的服務(wù)成果是不能忽視的。在特殊的清凈室傳送或接收的設(shè)備，在錯誤修改應(yīng)用上費(fèi)用是比較昂貴的，且若不能與設(shè)計圖上一樣，可能會無法執(zhí)行。在設(shè)計特殊的清凈室時，建筑的成本中包括運(yùn)轉(zhuǎn)成本，而運(yùn)轉(zhuǎn)成本又包括須能持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的馬達(dá)成本及修護(hù)成本。成本的歸納有裝置費(fèi)，持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)，維修費(fèi)。計算運(yùn)轉(zhuǎn)成本必須考慮到能量的消耗及效率的高低。就高效率或新機(jī)臺啟動前，會先引進(jìn)外氣，這樣對旋轉(zhuǎn)的原動力、交流板、排氣的管路和空氣回流混合系統(tǒng)中，長期使用可保持較高的效率。在操作上和持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用上必須考慮是否提高整個的設(shè)備費(fèi)用。

　　(三) 就工作參數(shù)設(shè)定而言

　　特有的溫度、濕度噪音、振動及運(yùn)作的環(huán)境要求下，大部份將影響到設(shè)備的選用。就某些實(shí)例而言，溫濕度的設(shè)定點(diǎn)在可接受的范圍內(nèi)必須要維持在一個長時期或較完整的環(huán)境及過程。清凈室的加熱力法可用熱水、水蒸氣瓦斯和電能，可用冰水，乙醇或冷媒冷卻。使用水蒸氣、注射器、噴霧器及滲透的方法可以加濕。當(dāng)評估加濕的來源時，特別要注意的是加濕過程和加濕的方法是否保證清潔。典型的清凈室通風(fēng)管理裝置使用一個有吸收力或吸附力的物質(zhì)去除大氣中的濕氣或使用低溫乙醇螺管系統(tǒng)去濕。溫濕度設(shè)定后，就必須考慮空氣流量參數(shù)是否滿足所需。典型的清凈室必須維持在大氣常壓下。因此房內(nèi)之壓力及體積之值必須適當(dāng)予以控制。風(fēng)扇的噪音與震動必須被考慮上去。適當(dāng)?shù)难b配器材及馬達(dá)轉(zhuǎn)速可避免不必要的噪音和振動。風(fēng)扇結(jié)構(gòu)可使用皮帶驅(qū)動或直接驅(qū)動。風(fēng)速控制及可變頻率控制可以依體積需要來決定噪音及振動的限度。濟(jì)普通的減振方法為裝置彈簧基座、固定基座及將空調(diào)箱遠(yuǎn)離。常用的聲音衰減器有可動式地板、緩沖機(jī)和風(fēng)扇彎曲度及伸縮度控制。聲音衰減器隔離風(fēng)扇和設(shè)計成薄的特性，可降低幾度音階結(jié)合。除了粒子的控制之外，特別要考慮的有(a)帶**的操作過程，(b)腐蝕物或有毒的化學(xué)物品，(c)揮發(fā)性或易爆發(fā)的藥劑，(d)還有室內(nèi)及排氣的空氣質(zhì)量，(e)可靠，(f)設(shè)備壽命和保養(yǎng)能力等。

　　(四) 就建筑考慮方面

　　空間的使用率會影響 AHU 的實(shí)際大小。保養(yǎng)門和通路儀表板的位置必須謹(jǐn)慎地決定，特別是位于小空間的設(shè)備。應(yīng)防止表面凝結(jié)，除了涉及濕氣作用和凝結(jié)在設(shè)備的外部之外，濕氣對于空氣傳遞設(shè)備內(nèi)部構(gòu)成要素也有不利的影響，混氣對內(nèi)部構(gòu)成也有不利影響，將使壽命縮短，成本提高。濕氣作用將會散布弊病和污染物，便得效率低的令人害怕。減低建筑物的腐蝕物質(zhì)和鋁、不銹鋼或涂上一層合金，可以使用上列物質(zhì)使清凈室壽命增加。設(shè)計設(shè)備空間時，應(yīng)保留適當(dāng)?shù)耐罚詡浯驋呋蚓S修用。對于銅制的、不銹鋼制和鋁制的盤管，應(yīng)注意那種場合適用那些盤管。

　　(五) 就管理合成物的規(guī)格方法

　　詳述一 C/R 的 AHU 是一個極大的工作，并完全增加探討和了解這加工方法能夠提供其范圍于C/R環(huán)境，可使用的操作上和地理性的參數(shù)運(yùn)用上也必須被估量。

　　有專業(yè)和有經(jīng)驗(yàn)的 AHU廠商能夠協(xié)助使用者在使用上的復(fù)雜細(xì)節(jié)以使機(jī)器不會過量設(shè)計，此項重點(diǎn)在 C/R 設(shè)計階段即應(yīng)詳加注意。

　　其要**否容易對材料的選擇而言天花板中的濾網(wǎng)有許多種，其濟(jì)怕的就是粒子泄漏。

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