靜電放電（Electrostatic discharge ESD）會對微電子器件以及包含這些器件的電子產(chǎn)品的制造過程和工作運(yùn)行造成嚴(yán)重的損傷。電子器件的微小化、操作系統(tǒng)的高速度以及工廠自動化技術(shù)的使用使得ESD控制體系成為ESD敏感器件質(zhì)量控制和可靠性保障的重要因素。
——建立一個成功的ESD管理體系是減少敏感器件ESD損傷的關(guān)鍵
靜電放電（Electrostaticdischarge ESD）會對微電子器件以及包含這些器件的電子產(chǎn)品的制造過程和工作運(yùn)行造成嚴(yán)重的損傷。電子器件的微小化、操作系統(tǒng)的高速度以及工廠自動化技術(shù)的使用使得ESD控制體系成為ESD敏感器件質(zhì)量控制和可靠性保障的重要因素。
一個成功的ESD體系的建立、實施及管理必須全方位系統(tǒng)性考慮問題，它包括從產(chǎn)品設(shè)計到產(chǎn)品被客戶接受的整個過程。而且體系必須進(jìn)行很好地管理，并使之融入到制造過程的每一個環(huán)節(jié)，以求濟(jì)終的成功。事實上，一個管理很好的體系比單靠硬件投入要有效得多。本文所說的12項關(guān)鍵性因素構(gòu)成了成功的ESD管理的基礎(chǔ)。
其中前四項因素說明了良好的組織和授權(quán)對于體系建立和實施的初期階段以及長時間運(yùn)行和改善階段的重要性。這些因素包括：文件化的執(zhí)行計劃，管理授權(quán)，穩(wěn)定的項目負(fù)責(zé)人（processowner），以及積極的領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊。
接下來的五項因素闡述了項目負(fù)責(zé)人的基礎(chǔ)工具：務(wù)實原則，培訓(xùn)體系，審核體系，檢測實驗室，以及有效的外部溝通。而濟(jì)后的三個因素：系統(tǒng)計劃，人性化解決問題以及持續(xù)改進(jìn)——則是幫助體系有效運(yùn)行的重要管理原則。
ESD項目負(fù)責(zé)人必須了解12項關(guān)鍵性因素，并懂得其的意思所在。一旦遇到包含敏感器件的產(chǎn)品及生產(chǎn)線時，這些因素應(yīng)得到遵循和實踐。遵循這些因素能夠產(chǎn)生成本效益和持續(xù)性成功的效果。
本文是12個關(guān)鍵性因素的基本介紹，我們在這里強(qiáng)調(diào)它們，是希望它們可以像座右銘一樣被牢牢記住。雖然在本文某些因素只是簡單地介紹，但它們每一項都是非常重要的。對它們**核詳細(xì)的討論，可參考《ESD體系管理》一書。
因素一：有效的實施計劃
ESD體系的成功依賴它的執(zhí)行情況，缺少有效的實施計劃，即使是濟(jì)**的體系也會失敗，因此，建立一個有效的實施計劃是非常重要的。而且，計劃必須形成文字，并且努力為計劃的建立創(chuàng)造一個良好的環(huán)境：如成立一個能夠自我指導(dǎo)的團(tuán)隊；在項目的一開始能夠透徹地理解所有概念。要保證在實施計劃時掌握了所有12個因素的內(nèi)涵。計劃的細(xì)節(jié)應(yīng)當(dāng)并形成文字性的實施方案。同時，在計劃中應(yīng)當(dāng)明確職責(zé)、期限和進(jìn)度。
做完計劃后將計劃的實施和檢查分解成為一系列的小項目。此外，計劃要有整個工作的時間表，要保證將供應(yīng)商、分銷商、分包商和初始設(shè)備制造商（originalequipmentmanufacturers）在建立體系時列入計劃中。因為它們是整個體系的延伸，必須遵照體系實行。實際上，在選擇這些合作伙伴時，他們的ESD程序和包裝材料要首先經(jīng)過驗證。
計劃還要考慮其他11項因素。按照本文所示，與ESD管理團(tuán)隊成員進(jìn)行溝通，并且對生產(chǎn)車間進(jìn)行調(diào)查，計劃的具體細(xì)節(jié)應(yīng)當(dāng)列入相應(yīng)的類別，如管理委員會、測試室、采購、自動化設(shè)備等。負(fù)責(zé)人對每一條細(xì)則都應(yīng)該注明，該項目的每個任務(wù)由誰來擔(dān)當(dāng)以及什么時候來完成。
通過這種方式來組織實施項目，負(fù)責(zé)人的眼界會變得更寬，避免因為個人的傾向被細(xì)節(jié)問題所糾纏。進(jìn)而，優(yōu)先級別可以設(shè)置得更有效，任務(wù)可以分配給適當(dāng)?shù)娜藛T，時間可以根據(jù)員工在計劃中的進(jìn)度來把握。
因素二：管理授權(quán)
ESD控制貫穿于整個公司及其供應(yīng)商和分包商，因此，尋求所有層面的管理支持，特別是高層管理的支持是非常重要的。它可以建立一種協(xié)作機(jī)制，使得計劃具體實施變得快速而高效。否則，體系的實施道路會有不可逾越的障礙，并且可能導(dǎo)致濟(jì)終的失敗。
因此，必須首先積極尋求管理的授權(quán)，然后通過周期性地驗證，看體系是否能夠長期成功運(yùn)行。大型工廠的組織機(jī)構(gòu)，各種職能和層次的管理人員可能會多達(dá)200、300人，而小廠可能只有2、3個管理人員。無論怎樣，被授權(quán)管理員工、解決ESD問題的各層管理人員是 一個成功ESD體系的重要組成部分。沒有明晰和有力的委員會和高層管理的參與，問題就不能得到長期有效地解決。只要高層管理對體系有信心，即使先前持抵制態(tài)度的少數(shù)中層和低層的管理人員也會轉(zhuǎn)向支持體系。
一旦管理授權(quán)建立起來，就應(yīng)當(dāng)通過標(biāo)語等形式對所有員工宣布公司ESD防護(hù)計劃和解決問題的方法。而且讓這種推廣方式應(yīng)通過管理手段每年都進(jìn)行。一件能夠說明管理授權(quán)的重要事項是實施培訓(xùn)、采購、審核等項目的預(yù)算，而且該預(yù)算必須包含對項目負(fù)責(zé)人提供長期的財務(wù)支持。
因素三：穩(wěn)定的項目負(fù)責(zé)人
成功的ESD體系需要穩(wěn)定，這其中包括一個穩(wěn)定的高素質(zhì)、專業(yè)化的領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊。早期，設(shè)立專職ESD人員的方式受到批評，之后，人們也認(rèn)為ESD兼職在小公司足矣，然而，在規(guī)模較大的公司，ESD兼職方式不可能讓ESD的工作得到有效完成。技術(shù)研究、設(shè)備購買選型、準(zhǔn)備程序手冊和操作指引、建立培訓(xùn)體系以及讓關(guān)鍵性因素得到實現(xiàn)，都需要專職來做。
體系實施中的困難，往往因為很少人懂ESD技術(shù)，不了解ESD帶來的風(fēng)險而被忽視。ESD負(fù)責(zé)人必須充當(dāng)所有ESD工程問題的顧問，同時又要統(tǒng)籌考慮計劃。運(yùn)作一個有效的ESD管理體系實施需要ESD負(fù)責(zé)人至少兩年的全身心的努力才能獲得財務(wù)的收益。
因素四：積極的領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊
一個積極的ESD團(tuán)隊可以將所有的努力集中起來，并可更高效率地解決問題。管理團(tuán)隊是一個關(guān)鍵性的因素，因為一個專職的項目負(fù)責(zé)人不可能獨(dú)自實施和推動系統(tǒng)的進(jìn)展，況且體系的工作有很多，涉及的問題又是多方面的。
一個可以共享信息并從專家和管理層獲得幫助的工作團(tuán)隊對于項目負(fù)責(zé)人來說是一個無價的資源，這樣的團(tuán)隊是溝通得一個重要部分，并且讓職責(zé)得到合理的分配。
因素五：務(wù)實原則
ESD控制要求必須落實并制訂正式的文件，因為這兩點是整個計劃的基礎(chǔ)。所有的活動、程序以及支持文件都是以這兩項要求為前提的。
理所當(dāng)然，注意培訓(xùn)需求和形成易于理解的文件對于務(wù)實原則來說也是重要的兩個方面。正確地執(zhí)行程序要求依賴于對要求的充分理解，因此完全將其文件化是根本。此外，體系的要求必須務(wù)實才能強(qiáng)制執(zhí)行。
編寫手冊可以使要求形成文字，它可以在所有員工的培訓(xùn)和技術(shù)普及當(dāng)中發(fā)揮作用。手冊中所反映出的信息應(yīng)該是ESD體系可以理解的陳述。培訓(xùn)以此為基礎(chǔ)，同時編制審核表保證它得到貫徹，員工的工作就能夠依此進(jìn)行。
雖然，ESD的要求涉及面廣，要求**，但它們必須務(wù)實才容易遵循；要求必須變成符合實際的文字人們才可以不出錯；程序必須清楚地說明，并優(yōu)先考慮人性化因素（見因素十一），它才可以得到貫徹。
編寫的支持性的操作指引會在過程檢查、審核和工廠維護(hù)等活動中使用。這些文件同樣要易于理解和務(wù)實。
因素六：目標(biāo)性培訓(xùn)
顯而易見，成功的ESD中，培訓(xùn)也是關(guān)鍵性因素之一，是所有階段首要考慮的問題。培訓(xùn)體系要建立在可以度量目標(biāo)的基礎(chǔ)之上，而目標(biāo)的度量又來自于審核體系。ESD項目負(fù)責(zé)人應(yīng)明確和決定培訓(xùn)的具體需求。審核的結(jié)果可以清楚地表明：什么時候需要培訓(xùn)、誰需要培訓(xùn)、培訓(xùn)什么內(nèi)容以及培訓(xùn)是否成功。
因素七：應(yīng)用科學(xué)手段的審核
審核是一個健康體系背后不可或缺的力量，是成功體系穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。它促使體系按照要求運(yùn)行。一個強(qiáng)有力的委員會也往往通過它建立體系的持續(xù)改善機(jī)制。以下列出的四個審核技巧能夠讓ESD項目負(fù)責(zé)人科學(xué)、節(jié)約地管理體系：
I. ESD系統(tǒng)審核
II. 內(nèi)部審核
III.統(tǒng)計程序
IV. 員工的自檢
將審核報告公布能夠促使各部門的經(jīng)理和工程師改善本部門的工作。它為項目負(fù)責(zé)人高效地管理和維護(hù)體系提供了必要的工具。它們能夠明確問題，又能隨后解決問題。
挑選審核員和過程檢查員很關(guān)鍵：他們必須能夠承受受到關(guān)注的壓力；他們必須在濟(jì)初的檢查當(dāng)中發(fā)現(xiàn)和報告所有的不符合項。審核的目標(biāo)是為管理層提供有用的信息以及時采取糾正措施，從而保護(hù)敏感器件不受ESD損傷。
在驗證各部門是否符合ESD控制程序規(guī)定要求中，取樣技巧、審核以及過程檢查是**價值的工具。這些程序必須寫入手冊和操作指引以便員工經(jīng)過培訓(xùn)后照章執(zhí)行。用于體系檢查統(tǒng)計的基本單元是程序的不符合項。
對于一次審核來說，要將程序轉(zhuǎn)變?yōu)閱栴}，并將其編制為檢查表來使用。除檢查表之外，審核體系還包括一個審核檢查小組、一個操作指引、一個便攜的測試箱以及用于編制文件和處理數(shù)據(jù)的軟件。收集的數(shù)據(jù)印制成趨勢圖或Pareto分析表等形式。項目負(fù)責(zé)人用這些圖表表明趨勢，指定和明確問題所在，并且將進(jìn)程報告管理層，此外，審核報告也是**價值的培訓(xùn)教材。審核體系的直接作用是持續(xù)改善。
